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单工位喷淋清洗机包括底座、位于所述底座上方的上料箱、分别设于上料箱一侧的喷淋清洗装置和储液槽、用于夹紧待清洗的罐体的机械手、用于驱动机械手的驱动装置以及控制系统，其中，储液槽内设有撇油机构，顶部安装有重力油水分离装置，侧壁可活动的连接有集油盒，该单工位喷淋清洗机工作、操作和维修方便。
单工位喷淋清洗机。如图1所示，该单工位喷淋清洗机包括底座1、位于所述底座I上方的上料箱2、设于所述上料箱2—侧的喷淋清洗装置3、喷淋腔、储液槽4、用于夹紧待清洗的罐体的机械手、用于驱动所述机械手的驱动装置以及控制系统，其中，所述储液槽4内设有循环过滤栗、撇油机构，顶部安装有重力油水分离装置，侧壁可活动的连接有集油盒，使用时，喷洗过的清洗液先经过过滤篮过滤掉大颗粒，进入储液槽一侧，漂浮物经过重力油水分离装置再次清理，多余的清洗液从撇油机构溢流出去，循环过滤栗抽取清洗液经抽口过滤，栗出口经过滤栗入储液槽的另一侧，这样可以保证喷淋栗始终抽入洁净的清洗液。
旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。
喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程，减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均匀，同时，接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的，这样就可以做到通过工艺时间设置，控制硅片的清洗腐蚀效果，实现很好的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到更好的清洗目的。
（1）依据要高压喷淋清洗机工件的污垢详细特性
在设计一个清洗工艺时，首先要对污垢的性质、数量以及在清洗外表附着的状况停止理解。通常的清洗工艺和设备都是针对特定的污垢而设计的，普通是先用经济的办法将大局部污垢除去，然后用其他的办法对残留的污垢停止处置，用分步停止的办法组成一个清洗工艺。
（2）对高压喷淋清洗机洗净水平的请求
在选择清洗工艺及设备时，思索清洗请求到达的喷淋洗净水平。对不同洗净水平请求的清洗应选择不同的清洗工艺和设备。洗净水平请求越高，清洗本钱也越高 ，而且消费本钱是以几何级数递增的。
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